凈化廠房的制度與紀律標準參數

裝修凈化廠房內的人是凈化廠房室內污染的重要來源。凈化工程必須盡可能減少凈化廠房內人員活動所造成和傳播的污染，以確保室內潔凈度及降低維護費用。制定凈化廠房的紀律，其目的就是使產品的污染風險降至最低。

凈化廠房的運行管理人員在制定凈化廠房紀律時，首先，應該對凈化廠房內工作的人員以及凈化廠房內部運行工作人員，包括維修人員和服務人員的活動，制定嚴格的紀律加以規(guī)范; 其次應該注意的是，凈化廠房內所生產的產品對污染的敏感性是不同的，而為凈化廠房制定的紀律應反映出這一點。

1.1嚴格控制進入凈化廠房的人員
人在行走時，每分鐘可以產生約百萬個粒徑≥0.5um。凈化廠房內人員越多，散發(fā)的粒子數量也越多。因此，管理人員應盡量控制凈化廠房內人員數量，也就是說僅允許必需的人員進人凈化廠房。

此外，還要盡量減少凈化廠房的參觀者。由于參觀者沒有接受過凈化廠房工作培訓，因此 只有在監(jiān)管人員的管理之下，才能進入凈化廠房。理想的方案是為凈化廠房設計供參觀者使用的觀察窗，這樣參觀者就不一定非要進入室內，從而減少了造成 污染的概率。

1.1.1對凈化廠房工作人員的基本要求
凈化廠房的工作人員與一般場所的工作人員相比，應該盡量減少人體散發(fā)的污染。凈化廠房運行管理人員應該制定詳細的要求，以期將室內工作人員造成的污染控制在可接受的范圍內。

對凈化廠房工作人員身體狀況的基本要求
凈化廠房工作人員應保持身體健康，出現以下身體狀況的人員，可能產生大量的污染粒 子。因此，直至癥狀完全消除前，不宜進入凈化廠房工作。

患有某些皮膚病
特別是皮炎、皮膚灼傷、頭皮屑過量等狀態(tài)時，因皮膚可能散布大量的皮細胞，而不 宜入凈化廠房工作。

患有呼吸系統(tǒng)疾病
例如感冒、慢性肺部疾病等，易造成過量咳嗽或打噴嚏而散發(fā)大量的飛沫，病愈前不 宜人凈化廠房工作。

過敏體質的人員
過敏體質人員容易有打噴嚏、搔癢、流鼻涕等癥狀，一般不適合在凈化廠房內工作。

可能攜帶某些微生物、病菌的人員
在生物凈化廠房中，有時必須將人員與產品隔離開，以防止人員可能攜帶的微生物病菌 在產品上滋長，從而損害產品或造成疾病。這些人員對其所從事的工作是否合適的問題， 應連同產品對某種具體類型的微生物在其上生長的敏感性一道予以考慮。

對凈化廠房工作人員衛(wèi)生習慣的基本要求
凈化廠房工作人員應保持良好的個人生活與衛(wèi)生習慣，不良習慣同樣會造成凈化廠房潛在 的污染源，下列衛(wèi)生習慣要求凈化廠房工作人員在日常生活中予以關注。

人員應有良好的個人衛(wèi)生習慣
要定期洗澡，清除頭皮屑。每次理發(fā)后要洗頭，防止頭發(fā)屑落在產品上。皮膚干燥的 人，應使用護膚霜代替護膚油滋潤皮膚，以減少皮屑散發(fā)。

—般不允許進入凈化廠房工作時使用化妝品
各類化妝品、爽身粉、護發(fā)用品、頭發(fā)定型膠、指甲油等都不宜使用。凈化廠房通常將 人體上的所有外來物都視為污染物?；瘖y品會對凈化廠房造成污染，因為使用化妝品時都會在皮膚上沉積大量的粒子（≥0.5um粒子數達109個），其中的一些粒子可能會釋放到凈化廠房中。

—般不允許在凈化廠房中使用手表及首飾，如耳環(huán)、項鏈、手鏈、戒指等
如果使用首飾，必須將首飾置于服裝和手套之內。戒指底下可能是藏污納垢之處。而有的人員可能出于情感上的原因，不愿取下結婚戒指或定婚戒指。如果能將戒指及戒 指下面的皮膚洗凈，也可允許戴著戒指。但戒指上可能刺破手套的地方，要用膠帶裹住為妥。

進入凈化廠房前幾小時內不宜吸煙
吸煙者的口中可比一般的人釋放出更多的粒子，他們的身體也會釋放出某些化學氣 體。所以有些凈化廠房要求人員在進人凈化廠房前幾個小時禁止吸煙。

3.對凈化廠房工作人員攜帶私人物品的限制
總的原則是非生產所需的任何物品，不得帶人凈化廠房內。具體規(guī)章可由凈化廠房的管理 人員依據何種物品會對產品造成污染來決定。一般來說，下述物品應禁止帶入凈化廠房內: 食品、酒、糖果、口香糖；罐裝或瓶裝飲料；煙、火柴、打火機；自用的藥品、藥水、藥 膏；收音機、唱盤播放機、袖珍磁帶機、手機、呼機；報紙、雜志、書籍、手帕、面巾 紙；鉛筆、橡皮、鋼筆；錢幣、錢夾、化妝品、手袋等。

1.1.2對凈化廠房維修人員和服務人員的基本要求
進入凈化廠房維修設備或提供服務的人員，同樣可能因缺乏培訓和監(jiān)督，而對凈化廠房環(huán)境造成污染。如果對維修技術人員事先未作說明，他們就可能會采用與凈化廠房外使用的同樣維修方法維修設備，其后果可能是嚴重的。來自外面公司的服務人員，可能未受過凈化廠房污染控制方法的任何培訓。為此下面列出了進入凈化廠房的維修人員和服務人員應當了解的一系列相關規(guī)章：

獲得許可方能進入
維修人員和服務人員只有在得到凈化廠房管理人員的許可后，才可進人凈化廠房。

培訓與監(jiān)督
維修人員和服務人員應受過凈化廠房技術的培訓，此外，在凈化廠房他們的工作宜處在凈化廠房管理人員嚴密的監(jiān)督之下，進出凈化廠房的時間及工作情況等，應記錄備案。

穿著潔凈服
維修人員和服務人員必須穿著與凈化廠房T作人員同樣或效率相當的潔凈服。當他們進出凈化廠房時，應與凈化廠房工作人員采用相同的方式更衣。無論是周末或其他歇班時間，不穿著潔凈服絕不允許進入凈化廠房。維修人員和服務人員進入凈化廠房前一定要脫下其原來的工作服，更換潔凈服前要認真洗手。

凈化廠房專用工具
凈化廠房維修用的工具僅供凈化廠房內使用，要保持潔凈。若維修人員和服務人員或者外單位的承包商，需要將其必須的工具帶入凈化廠房時，這些工具應經過清潔，方可帶入凈化廠房。

文字、圖紙等資料的進入
書寫在非凈化廠房專用紙上的文字或圖紙等資料不得帶入凈化廠房內?？蓪⑵鋸陀≡跐崈?室專用紙上，或者覆以塑料膜，或者放人凈化廠房專用塑料袋中方可帶人凈化廠房。

產塵作業(yè)需隔離
一些產生粒子的作業(yè)，如鉆洞、修理頂棚和地面，應與凈化廠房的其余部分采取相應措 施隔離開。同時，宜采用局部排風或真空吸塵器，清除所產生的粒子。

維修工作后的清掃
維修人員和服務人員在工作完成后必須按凈化廠房要求清理現場，并確保由具有專業(yè)知 識的人員將該區(qū)域按“凈化廠房清潔方式”進行清潔，清掃時只能使用經審定可用于凈化廠房 的清潔劑、清潔材料和清潔設備。

1.2凈化廠房內需遵守的紀律
為保證產品不受污染，凈化廠房內的工作人員必須遵守相關的行為準則。凈化廠房管理人 員必須制定一套與其凈化廠房產品要求相適應的規(guī)章制度，在人員培訓中，予以宣講公布。并將這些規(guī)章制度張貼在更衣區(qū)或生產區(qū)。以下給出了一般采用的規(guī)章制度宜于包括的內容。

1. 2.1防止沿通道逆向氣流增加污染
為防止空氣不會從高污染區(qū)向低污染區(qū)，由凈化廠房外走廊向生產車間逆向流動，工作 人員應遵守以下紀律：

1.人員必須經過更衣區(qū)進出凈化廠房
更衣區(qū)不僅是用于更衣的，它也是外部的污染走廊與潔凈生產區(qū)之間的緩沖區(qū)。除非 特殊情況，工作人員不得使用生產區(qū)與走廊間的緊急出口等直接出口，因為這會使污染直接進人生產區(qū)，同時他們的服裝也會因此受到污染。

2.凈化廠房所有的門應關閉（除保持正壓外）門若敞開時，兩個毗鄰區(qū)域間的空氣會由于紊流及區(qū)域溫差產生逆向流動。

3.手動關門、開門的動作要慢
如果快速開、關門，空氣會因門扇轉動偏快使誘導作用增強，造成空氣向凈化廠房內逆向流動。
對于正壓凈化廠房，門一般是向里開，即向生產間開。室內較高的空氣壓力使門關閉較嚴密。有些為了使手上持有物品的人員出門方便而向外開，門上應安裝關門器，使門平時處于關閉狀態(tài)，且開關門時關門器應控制門緩慢轉動以減少誘導作用所產生的空氣逆向流動。外開的門一般不帶把手，有助于避免手套造成的污染。

4.穿過氣閘室的注意點（風淋室）應確保在第一道門已關閉時再通過第二道門?？墒褂弥甘緹?，顯示門是否處在關閉狀 態(tài)。通常兩邊門采用電子聯鎖裝置即可實現這一點。傳遞窗的用法與此相似。但要注意的是，當發(fā)生火災時，必須保證氣閘室不會因此產生危險。換句話說，出現火警時，氣閘室門禁電子聯鎖應解除。
1.2.2防止工作人員在凈化廠房內的不當動作增加污染為保證人員的動作不會在凈化廠房內造成過多的污染，應考慮下面的相關建議：

1.工作人員不允許有不當行為人員污染物的產生量與活動量成正比。根據美國著名潔凈技術先驅Austin. P. R. 1965 年發(fā)表在美國污染控制協會（AACC)的污染索引（Contamination Index)的測試數據，人 員身著潔凈服不同動作時的產塵量如表1-1所列。從表中可知，人靜止不動時，每分鐘產生的大于等于0.3um的粒子約為10萬個；人在活動時身體、頭、肩膀等每分鐘可產生大 于等于0.3um的粒子約為1百萬個；人的走動速度為3.6km/h時，每分鐘產生的大于等于0.3um的粒子約為5百萬個。因此，要求凈化廠房所有人員不要“輕舉妄動”，任何移動 都應慎重，并按規(guī)定進行，不允許過多無用的動作。

操作人員要正確站位:
人員相對產品而言，應處在正確的位置上，這樣才不致污染物落在產品上。不應傾身在產品上方，否則從其身上散落的粒子、纖維或帶有微生物的粒子就會掉在產品上。

移動或拿起產品的方法:
必須事先考慮好如何移動或拿起產品。為防止戴有手套的手污染產品，建議采用“無接觸”方式拿起產品。雖然在凈化廠房中人員戴有手套，污染會少些，但它仍然可能成為污染源。在線寬較大，尚可允許較低的成品率時，這種方法仍在使用?！盁o接觸”方式的一 個例子就是使用長夾子移動材料，這樣就避免了用手拿材料造成的污染，人員不應靠身體來搬運材料

盡管人員穿著的潔凈服比普通服裝或工作服潔凈得多，但服裝上仍然存在粒子、纖維并且有可能因不當操作轉移到所搬運的物品上。因此操作人員同時應注意防止讓任何物品在產品的上方拖過。

人員不宜觸摸、倚靠凈化廠房的任何表面:
盡管凈化廠房的表面比室外要潔凈得多，但在室內設備的表面上，仍會存留有粒子、纖 維及細菌。如果人員從這些表面上粘上污染物，這些污染物就可能傳到產品上。在凈化廠房 內無需用手時，宜兩手抓緊置于身前，有助于防止手部不經意地觸摸凈化廠房設備表面。

人員在工作時不應說話:
說話、咳嗽、打噴嚏等都會使唾液從口罩與皮膚的縫隙處噴出而污染產品。在咳嗽或 打噴嚏時，必須將頭從產品處移開。打噴嚏后一般都要更換口罩?？谡忠欢ㄒ衷诒亲由隙坏迷诒窍拢驗榇謿鈺r大粒子會從鼻內釋放出來。

私人手帕不能帶入凈化廠房內:
私人手帕顯然是污染源，它可以把粒子（包括帶有微生物的粒子）帶人空氣中，粘在手套上。在凈化廠房內也不能擤鼻子，擤鼻子可以在更衣區(qū)進行，事后一定要更換手套。工作人員在凈化廠房內還應避免接觸自身皮膚，搔癢、擦拭任何部位的皮膚，都屬不妥行為。

1.2.3防止凈化廠房內材料使用不當而增加污染;

有關凈化廠房內使用材料的建議如下：
1.在凈化廠房中應使用污染程度低的抹布
選擇使用哪種形式的抹布，由凈化廠房的維護費用預算和凈化廠房生產什么產品來決定。 并且還必須確定抹布丟棄前可以重復使用的次數。

凈化廠房之間應盡可能減少材料的移動:
每次將產品帶出凈化廠房，它就有可能在潔凈度較差的區(qū)域受到污染。而當它再度進入凈化廠房時，就會將這種污染帶入室內。最好將產品儲存在凈化廠房一個合適的潔凈區(qū)域內，或儲存在毗鄰的潔凈區(qū)。

防止加工品被污染:
在生產階段，人們一般非常注意不使產品受到污染。而產品一旦完成某工序后，往 在凈化廠房內容易被遺忘，灰塵就會在產品上聚集。因此，易受污染的產品要置于密封柜中，或容器內，或單向流工作臺內，或隔離裝置內。如果凈化廠房為單向流凈化廠房，可以使用氣流能夠穿過其間的儲物架放置產品。此外，不得將材料置于地板上。

廢棄物的處理:
要經常將廢棄物收集起來放人易于識別的容器內，并移出凈化廠房。

保持凈化廠房整潔:
要采用正確的方法清掃凈化廠房，或在需要時對凈化廠房進行消毒，要保持凈化廠房內整齊有序。必須使用合乎要求的清潔工具，才能保證清潔效果。

凈化廠房在一定空間范圍內，將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內的工程學科。凈化廠房所特別設計的房間，不論外在空氣條件如何變化，室內均具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切、更全面。紊流主要決定于雷諾數，潔凈房也就是主要受流速的影響，但是如果采用一個高效過濾器頂送的送風形式，則即使流速極低，也要產生上述各種結果，這就因為它是一個突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發(fā)生的摻混，而且還有全室范圍內的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，潔凈房但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，潔凈房特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。