百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間設(shè)計(jì)要求
百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間設(shè)計(jì)要求
100級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)、1000000級(jí);凈化車(chē)間可根據(jù)要求設(shè)計(jì)、施工,百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)潔凈室潔凈度。
一、凈化車(chē)間的規(guī)格:
凈化車(chē)間的規(guī)格一般適用于美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格No.209B。這個(gè)規(guī)格對(duì)凈化間的環(huán)境要素即空氣潔凈度、溫濕度、室內(nèi)壓等都進(jìn)行了規(guī)格化規(guī)定。
但是,伴隨著潔凈凈化工程度的不斷提高,美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格進(jìn)行了改版,其內(nèi)容主要是以潔凈度進(jìn)行分類(lèi)。
最新版已成為No209E,名稱(chēng)也進(jìn)行了變更。No.209E的級(jí)別表示是把0.5um以上的顆粒數(shù)為10x個(gè)/m3,把X表示成級(jí)別,同時(shí)加上米制M的意思,表示成M3.5等等。
在美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格No.209B,美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格No.209E。
在日本,相應(yīng)的規(guī)格是9920。9920的級(jí)別表示是把0.1um以上的顆粒數(shù)規(guī)定為10X個(gè),用Y表示級(jí)別。9920的級(jí)別的主要內(nèi)容。
無(wú)塵車(chē)間不同用途所要求的潔凈度:
如前所述,凈化間的級(jí)別一般分成M3.5(100)、M4.5(1000)、M5.5(10000)、M6.5(100000)4個(gè)級(jí)別。但根據(jù)各產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的作業(yè)工序不同,形成必要的級(jí)別是不一樣的。例如,在半導(dǎo)體制造工廠(chǎng)等里邊,根據(jù)作業(yè)內(nèi)容,要求有M1(10)—M5.5(1000)的凈化間。而且,在制藥工廠(chǎng)里,根據(jù)產(chǎn)品的純度、作業(yè)工序,需有從M3.5到M6.5(100,000)范圍廣泛的級(jí)別不等凈化間。因此說(shuō),各種產(chǎn)業(yè)所需要的凈化間,其要求的潔凈度是不同的。
生物凈化間級(jí)別:
100級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí);
粒子生物粒子:室內(nèi)壓力Pa,mmH2O,溫度℃,濕度%氣流換氣次數(shù),照度Lx,粒徑um。
潔凈無(wú)塵車(chē)間潔凈度較高的如百級(jí)、千級(jí)或萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)等較低的凈化無(wú)塵廠(chǎng)房。
2、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之水冷柜機(jī)+增壓新風(fēng)柜+高效送風(fēng)口與前種方案比較,這是相對(duì)比較簡(jiǎn)單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機(jī)房的面積,水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房?jī)?nèi)或凈化車(chē)間內(nèi),增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房?jī)?nèi)或吊在機(jī)房?jī)?nèi)或在夾層內(nèi)。
優(yōu)點(diǎn):
A.空氣處理效果較好的,處理過(guò)后的空氣在送風(fēng)過(guò)程中被污染程度低。送風(fēng)的溫度、濕度控制效果可以達(dá)到較好的控制。主要在空氣處理機(jī)組(增壓風(fēng)柜)里進(jìn)行控制;
B.布置靈活。自帶冷源;
C.大小廠(chǎng)房、新舊廠(chǎng)房都適用;
D.維修頻率較低;
E.車(chē)間噪音低。
缺點(diǎn):
A.需要小面積的機(jī)房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;
B.空調(diào)機(jī)組與空調(diào)處理機(jī)組要集中布置;
C.造價(jià)較低。特點(diǎn):這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng),具體根據(jù)車(chē)間的大小情況而定;這類(lèi)方案一般可以適用于潔凈度為千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)等的凈化無(wú)塵廠(chǎng)房。
3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之分體空調(diào)柜機(jī)+FFU高效送風(fēng)口這是更簡(jiǎn)易的一個(gè)空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車(chē)間內(nèi),并用彩鋼圍護(hù)起來(lái),在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開(kāi)回風(fēng)口(帶初效過(guò)濾網(wǎng));”梓凈”牌風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元FFU均勻布置于吊頂送風(fēng)天花。這個(gè)方案適用于對(duì)室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無(wú)塵車(chē)間。
優(yōu)點(diǎn):
A.不需要占用機(jī)房面積,布置很靈活的;
B.可以滿(mǎn)足空氣的潔凈度;
C.造價(jià)最低。如此類(lèi)無(wú)塵車(chē)間初投資約需要40萬(wàn);
D.送風(fēng)均勻度好。
缺點(diǎn):
A.溫濕度控制較差;
B.可以滿(mǎn)足空氣的潔凈度;
C.FFU的維修頻率高。
4、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之無(wú)塵車(chē)間的特點(diǎn)
A、無(wú)塵車(chē)間
潔凈無(wú)塵車(chē)間潔凈度:
LCD制屏的簡(jiǎn)略流程為:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線(xiàn)和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
在本設(shè)計(jì)里是指末端工藝的一些無(wú)塵車(chē)間,其凈化潔凈度一般為千級(jí)或萬(wàn)級(jí)或十萬(wàn)級(jí)。背光屏類(lèi)無(wú)塵車(chē)間主要是這類(lèi)產(chǎn)品的沖壓車(chē)間、組裝等無(wú)塵車(chē)間,其潔凈度一般為萬(wàn)級(jí)或十萬(wàn)級(jí)。
潔凈無(wú)塵車(chē)間室內(nèi)空氣參數(shù)要求:
(1)溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對(duì)濕度為55+5%。
(2)新風(fēng)量大。由于這類(lèi)車(chē)間內(nèi),人員比較多,可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的最大值:非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮 空氣量≥40m3/h。
(3)送風(fēng)量大。為了滿(mǎn)足潔凈室內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風(fēng)量,就300平方米的車(chē)間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬(wàn)級(jí),送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥25次/h);如果是十萬(wàn)級(jí),送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥15次/h)。